盛美上海首次獲得 Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備的采購訂單
2023-3-28 12:40:28碳化硅襯底用于功率半導體制造,而功率半導體被廣泛應用于功率轉換、電動汽車和可再生能源等領域。碳化硅技術的主要優勢包括更少的開關能量損耗、更高的能量密度、更好的散熱,以及更強的帶寬能力。汽車和可再生能源等行業對功率半導體需求的增加,推動了碳化硅器件市場的增長。根據Yole Dévelopment的數據,截至2026年,該市場預計將超過40億美元1。
盛美上海董事長王暉博士表示:“功率半導體市場增長勢頭強勁,電動汽車市場和相關基礎設施的部署如火如荼。這份訂單表明了盛美上海在先進半導體晶圓制造設備方面的經驗,也可用于滿足碳化硅襯底制造的獨特要求。我們仍然致力于豐富我們的產品組合,以把握更多的市場機會。”
關于Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備
盛美上海的該Ultra C SiC 碳化硅襯底清洗設備使用SC1(氨水/雙氧水混合藥液)、SC2(鹽酸/雙氧水混合藥液)、DHF(稀氫氟酸)及其他化學進行清洗工藝,并可選配公司自主研發的Smart Megasonix技術進一步優化清洗效果。該設備兼容6英寸和8英寸,每小時可達70多片晶圓的產能,而且已進行了升級優化,可避免薄且易碎的碳化硅襯底的碎片。
1.//www.semiconductor-today.com/news_items/2021/jul/yole-230721.shtml
777--------m.cbhcn.com.cn
573--------m.hfuk.cn
762--------m.hhdcbz.cn
334--------m.xcwypsn.cn
1014--------m.kspc0512.cn
781--------m.huaxinan.com.cn
646--------m.fcbpt.cn
959--------m.entcity.cn
480--------m.afciqrwr.cn
217--------m.zy16888.com.cn