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該設備采用單腔體模塊化設計,有兩種配置:
一種是可配置一至三腔體模塊,適用于沉積比較薄的薄膜兼顧產能大小
一種是可配置四至五腔體模塊,適用于沉積比較厚的薄膜兼容長臂真空機械手臂
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