濕法去膠設備

操作于晶圓級芯片封裝 三管齊下的提高利用率率刷洗
盛美成都的半導體技術濕法去膠設施專為快速省時的光刻膠(PR)剝落及黑色金屬剝落潔凈應用軟件而來設計。

濕法去膠設備

产品中心-盛美半导体设备(上海)股份有限公司
  

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产品中心-盛美半导体设备(上海)股份有限公司 槽式去膠第一單無——在槽式第一單無中便用藥液凈泡晶圓,該槽體以此可包容多片晶圓以提升 的生產能力。 單面去膠腔體——將藥液噴撒在飛速轉動晶圓接觸面,比較好地獨有保持每片晶圓方法。

主要優勢

采用簡單 精準的藥液操作 槽式單位預凈泡藝 藥液收購 施用可抑制人工成本 改進安全管理顯卡配置 配合現代化的晶圓沖洗生產工藝 幾層油煙凈化器功用


特性和規格

兼容8吋和12吋晶圓 配帶浸濕槽體

配有單片去膠腔體,包括:
    a.最多可配至5種藥液進行雙面清洗工藝
    b.最多可回收2種藥液
    c.單片腔體可搭載空間交變相位移兆聲波(SAPS)組件
    d.可選配有高壓solvent/DIW噴洗

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