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現進半導體技術材料專用生產機研究方向的非凡晶圓清潔專用生產機生產商商——盛美半導體技術材料專用生產機（nasdaq：ACMR），本月發布信息了直列V型爐專用生產機（Ultra Furnace）——裝修大公司首臺為各種各樣干法加工過程軟件制作的體統。裝修大公司新產品開發項目管理的首臺直列V型爐專用生產機提高后可確保高能力低壓證書化學工業氣相色譜儀磨合（LPCVD），時該專用生產機的平臺還可擴寬至腐蝕和固溶處理，及及原子結構層磨合(ALD)等軟件。圓滿結束的直列V型爐專用生產機也彰顯了盛美中國國家和日韓新產品開發項目管理團隊媒體合作為時兩年多的媒體合作作品。
“先進技術節點帶來了持續的挑戰，這就要求設備供應商進行創新，而這種市場環境給盛美提供了重要的機會。” 盛美半導體設備董事長王暉表示：“不斷創新是盛美的DNA。我們發現了一個可以從我們的技術中獲益的市場需求，我們就將我們的技術延伸至該新細分市場，在盛美已建立的濕法工藝產品系列上增加了Ultra Furnace立式爐產品系列，通過為客戶的先進產品提供整體解決方案，同時也增加了我們的市場機遇。”
“Ultra Furnace立式爐產品是由我們中韓兩國的專家團隊合作開發差異化技術的成果。”盛美半導體韓國公司首席執行官金泳律說：“盛美韓國團隊的成立讓我們優秀的上海團隊如虎添翼，加快了我們進軍市場的速度，并為本土客戶提供出色的技術支持。”
沉積工藝是指，在高溫下化學氣體在晶圓表面上反應形成氧化硅或者氮化硅膜層。Ultra Furnace立式爐系統可用于批量處理多至100片12英寸（300毫米）晶圓。創新的系統設計使用了新開發的硬件，提高了耐用性，同時搭載了盛美成熟的軟件技術、自研的控制系統和算法。這些特點保證了設備能穩定地控制制程壓力、氣體流量和溫度。
目前盛美Ultra Furnace立式爐主要面向LPCVD工藝市場，后續只需對其組件和布局進行一些局部變更，就可滿足其它目標應用需求。85%左右的硬件配置可保持不變，所以面向新應用的變動可有效地實現。
盛美半導體Ultra Furnace立式爐目標市場以中國大陸為起點，逐步向韓國和中國臺灣市場推進。盛美已于2020年初，向中國一家重要的邏輯客戶的制造工廠交付了公司產研的第一臺Ultra Furnace。該設備用于LPCVD，目前已經在客戶端安裝并進行驗證。
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